圖2-14所顯示氣體負(fù)壓軸系是法國CUPE企業(yè)的一種氣體負(fù)壓軸系。軸系前、后面各自選用半球型面構(gòu)造，聯(lián)軸器可以調(diào)整空隙。為了避免負(fù)載或是出現(xiàn)意外咽氣等情形下毀壞軸系，在曲面上安裝了一層多孔結(jié)構(gòu)高純石墨。在機械設(shè)備加工生產(chǎn)廠家，軸系由無刷電機力矩電機推動，旋轉(zhuǎn)精密度CNC鋁合金加工軸向和徑向均可做到0.00015mm。

圖2-15所顯示氣體負(fù)壓軸系是日本的一種超精數(shù)控車床的氣體負(fù)壓機床主軸軸系。軸系右邊有直徑為70mm、長為60mm的凸球，工作壓力氣從12個直徑為0.3mm的氣嘴進(jìn)到磁密(12~18μm)中，曲面圓柱度偏差為0.4μm，外表粗糙度為Ra0.2μm。左方凸球直徑為22mm、長為27mm，一樣由12個氣嘴進(jìn)氣口，進(jìn)氣工作壓力為0.4~8MPa，徑向承重980N，切向承245N，轉(zhuǎn)動時機床主軸浮上來。在機械設(shè)備加工中，機床主軸最大轉(zhuǎn)速比為5000r/min,軸系切向顫動可達(dá)0.03μm，徑向顫動可達(dá)0.01μm，銑削的零件外表粗糙度可達(dá)Ra0.01~0.02pm。

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